原位透射电子显微镜

　　设备名称：原位透射电子显微镜

　　型号规格： Talos

　　制造厂家：美国ThermoFisher Scientific公司

　　功能用途：主要用于多种材料的二维和三维的高分辨形貌快速、精准观察和微区的晶体结构分析，结合高灵敏的能谱仪可以实现快速的成分分析。可以获得非晶材料的质厚衬度像，多晶材料的衍射衬度像，和单晶薄膜的相位衬度像（原子像）。具有能量损失谱，分析材料的化学价态、电子结构、元素组成及其面分布等。

　　技术参数：

　　1.电子枪类型：超高亮度高稳定的冷场发射电子枪

　　2.能量分辨率：≤0.3eV

　　3.小束斑下束流：≥2.5nA@200kV

　　4.最大束流： ≥25nA@200kV

　　5.电子枪亮度： ≥2.4×109 A /cm2/sr

　　6.束斑漂移：＜0.5nm/分钟

　　7.加速电压：20kV – 200kV，连续可调

　　8.最大衍射角： ≥±12°（半角）

　　9.TEM模式点分辨率：0.25nm@200kV

　　10.TEM模式线分辨率： ≤ 0.10nm@200kV

　　11.TEM模式信息分辨率： ≤ 0.11nm

       12.TEM模式下放大倍数：1.25× - 1050000×