等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜

　　设备名称：等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜

　　型号规格： Helios 5 hydra cx

　　制造厂家：美国ThermoFisher Scientific公司

　　功能用途：用于Xe、Ar、O 和 N 四种离子束进行各类材料的纳微米级尺度高精度加工、修改、成型和高分辨成像。结合电子束高分辨显微表征、能谱和EBSD等辅助分析，进行材料高分辨微观形貌、三维结构、晶体取向及元素含量分析信息测试。利用纳米机械手，可以进行TEM和APT样品的制备。结合纳米力学台，可以进行原位的微小样品的纳米力学测试。

　　技术参数：

　　1.离子源：多气体源聚焦等离子体

　　2.离子束交叉点分辨率：10nm@30kV（选边法）， 20nm@30kV（多边法）

　　3.离子束加速电压：0.5kV – 30kV

　　4.离子束流强度：最低可达1.5 pA，最高可达 2.5 μA

　　5.电子束分辨率：0.7nm@1kV ，1nm@500V , 0.6nm@15kV , 1.2nm@1kV

　　6.电子束加速电压：0.2kV – 30kV，电压变化连续可调

　　7.电子束束流强度：0.8pA – 100nA

　　8.X、Y方向移动范围 ≥ 110mm；Z范围 ≥ 65mm；倾斜范围 -38°至 90°；可绕Z轴旋转任意角度

       9.原位冷冻台：-170℃ - +40 ℃