聚焦离子束电子束双束显微镜

　　设备名称：聚焦离子束电子束双束显微镜

　　型号规格： Helios 5 UX

　　制造厂家：美国ThermoFisher Scientific公司

　　功能用途：用于Ga离子束进行各类材料的纳微米级尺度高精度加工、修改、成型和高分辨成像。结合电子束高分辨显微表征、能谱和EBSD等辅助分析，进行材料高分辨微观形貌、三维结构、晶体取向及元素含量分析信息测试。利用纳米机械手，可以进行TEM和APT样品的制备。结合纳米力学台，可以进行原位的微小样品的纳米力学测试。

　　技术参数：

　　1.离子源：液态 Ga 离子源

　　2.离子束交叉点分辨率：2.5nm@30kV（选边法）， 4.5nm@30kV（多边法）

　　3.离子束加速电压：0.5kV – 30kV

　　4.离子束流强度：1 pA -65nA

　　5.电子束分辨率：0.6nm@30kV STEM，0.6nm@15kV , 0.7nm@1kV , 0.6nm@15kV ，1.2nm@1kV

　　6.电子束加速电压：0.2kV – 30kV，电压变化连续可调

　　7.电子束束流强度：0.8pA – 100nA

　　8.X、Y方向移动范围 150mm；Z范围 10mm；倾斜范围 -10°至 60°；可绕Z轴旋转任意角度