多功能型场发射扫描电子显微镜

　　设备名称：多功能型场发射扫描电子显微镜

　　型 号：Apreo 2S

　　制造厂家：美国ThermoFisher公司

　　功能用途：高分辨率成像观察，快速获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息。

　　可以在低电压条件下无需镀膜直接高分辨观察样品。

　　搭载EDS附件，可同时对样品表面微观区域内的元素成分进行定性和定量分析。

　　搭载高速高灵敏高分辨EBSD附件，能够对晶体材料进行空间分辨率亚微米级的电子背散射衍射，能够给出结晶学数据;可进行TKD测试。

　　配置高低温拉伸加载台附件，-40 ~ 1200°C，最大载荷5kN，拉伸位移最大 45mm，可在高低温、拉伸加载试样表面形貌观察与EBSD测试。

　　技术参数：

　　1.发射电压：0.2~30kV;着陆电压：0.02~30kV，10V补进连续可调

　　2.放大倍率：30×~1000000×

　　3.二次电子分辨率：15kV时≤0.7nm，背散射电子像分辨率15kV时≤1.9nm

　　4.最大探针电流不低于50 nA，束流稳定性≤0.4% / 10 h，且束流连续可调

　　5.电子束摇摆功能：自动摇摆电子束获取选区电子通道衬度图像