场发射电子探针显微分析仪

　　设备名称：场发射电子探针显微分析仪

　　型 号：JXA-iHP200F

　　制造厂家：日本电子株式会社

　　功能用途：

　　1.可对材料微米区域进行原子序数在4以上元素的定性和定量分析。

　　2.各种元素的点扫描分析、线扫描分析和面扫描分析。

　　3.用背散射电子像、二次电子像可观察试样的表面形貌及原子序数差别。

　　4.可对某些元素进行元素状态分析。

　　5.搭载高分辨率EBSD探头，可同步实现微区内元素化学组成分析和物相分析。

　　技术参数：

　　1.谱仪类型及晶体组成：4道谱仪，全聚焦型晶体和半聚焦型晶体组合

　　2.元素分析范围：4Be-92U，特别考虑与腐蚀相关O、S和Cl等元素

　　3.X射线取出角：40°

　　4.二次电子像分辨率:加速电压30kV&10pA时，≤2.5nm;

　　加速电压10kV时，10nA~20nm; 100nA~50nm;

　　5.电子图像放大倍数：40×~300000×，连续可调

　　6.分析精度：主元素(含量>5%)优于1%;次要元素(含量~1%)优于1%